La machine d'écriture de réseaux de diffraction offre une technologie de fabrication pour la production de grands réseaux spatialement cohérents et garantit leur production à coûts modérés par rapport à leur taille.
La base de l'unité linéaire est constituée par une platine solide en pierre dure à grain fin, rodée avec la plus haute précision. Deux rainures sont fraisées dans la surface de cette platine. La première rainure sert de guidage latéral pour l'unité de déplacement ultrastable, guidée par coussinet pneumatique à dépression. Ce concept permet d'atteindre un mouvement rectiligne incomparable présentant un lacet minime. Un moteur linéaire sans fer servant d'entraînement est intégré dans la deuxième rainure. Grâce à un amortissement pneumatique actif, le système complet est isolé contre les vibrations et autres influences extérieures.
L'axe linéaire X est composé d'une plaque en pierre dure à grain fin finement rodée et un coussinet pneumatique à dépression ultrastable de conception spéciale. Cet axe linéaire forme le support pour les verres de taille A3 à A0. Deux règles graduées optiques en verre Zerodur ultraprécises sont utilisées pour positionner le système. En plus, ces règles saisissent les écarts de lacet. En option, il est possible d'éliminer cette erreur par compensation en temps réel.
Le portail est également fabriqué en pierre dure finement rodée afin d'éviter les effets de l'appariement de différents matériaux. Il forme le support pour le scanner du masque de phase en 1D ajustable en hauteur.